HORIBA 开发了最小的质谱仪系统之一。紧凑的尺寸是通过四极质量过滤器微型阵列的专利设计实现的。该阵列提供与传统质谱仪相似或更高的灵敏度，但体积仅为传统质谱仪的一小部分。该系统能够在比传统系统高得多的压力下运行，因此减少了对额外差动泵设备的需求。RGA 可用作在处理前检测真空室状况的可靠工具；例如检测真空室中的水分。

我们还提供屡获殊荣的电容式压力计，它结构紧凑，全金属，具有自动温度调节功能。

HORIBA 蒸汽浓度监测仪使用非色散红外吸收测量技术 (NDIR)，性能可靠且性能卓越。