HORIBA 是高性能汽化器的领先供应商之一。HORIBA 的液体源汽化器用于整个半导体制造过程，以安全有效地将气相液体前体输送到使用点。无论液体前体需要在真空或大气压下蒸发，HORIBA 都有蒸发技术，可提供满足您要求的蒸发器。HORIBA 拥有超过 30 年的汽化专业知识，使用直接喷射、混合喷射、鼓泡和烘烤汽化技术。

HORIBA 的 Liquid Source Vaporizers 可以稳定高效地蒸发液体材料。我们的汽化器还可以连接到 HORIBA 的自动补充系统系列，以向使用点提供安全和连续的蒸汽输送。没有停机时间，因为可以在不中断制造过程的情况下更换散装前体罐。